某光电器件基带芯片制作厂在晶圆生产流程中,用到硅烷实现硅外延性生长的,氮氧化合物清洗塔产生了高密度含硅生活污水。生活污水包括pH浮动大(2-11)、硅浓度高的结构特征,民俗处置策略易发现硅垢堵住状况。
工业废水有效成分及主要来源
生活污水主耍因素为:
容解性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
氢空气氧化钠/氢空气氧化钠
:洗滌塔碱酸洗滌液使用量
颗料硅
:纳米级级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:原石沉淀物带进去
办理工艺设备步奏
改革创新所采用"有级采和+膜过滤清洁+蒸发掉心得"工艺设计:
1阶段中合
:用CaO调整pH至4-5,出现硅酸钙滤渣,硅取除率60%。
一级结合
:加Na₂CO₃将pH上升至9,逐渐一个脚印石雕文化沉淀多余硅,并接用镁剂除砷。
反渗透装置设计
:0.02μm瓷砖膜滤过奈米级硅小粒,通量稳定的在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:浓缩提炼高盐污废水 ,成果出Na₂SO₄副產品,水使用率超90%。
既定使用效果
总硅从1500mg/L高于5mg/L下
砷水分含量从0.8mg/L降为0.01mg/L
软件系统无积灰行驶可超过2年
一年回收公司盐酸钠晶状体约800吨