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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某光电器件基带芯片制作厂在晶圆生产流程中,用到硅烷实现硅外延性生长的,氮氧化合物清洗塔产生了高密度含硅生活污水。生活污水包括pH浮动大(2-11)、硅浓度高的结构特征,民俗处置策略易发现硅垢堵住状况。 工业废水有效成分及主要来源 生活污水主耍因素为: 容解性硅酸盐 :SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 氢空气氧化钠/氢空气氧化钠 :洗滌塔碱酸洗滌液使用量 颗料硅 :纳米级级SiO₂胶体溶液 痕量砷 :原石沉淀物带进去 办理工艺设备步奏 改革创新所采用"有级采和+膜过滤清洁+蒸发掉心得"工艺设计: 1阶段中合 :用CaO调整pH至4-5,出现硅酸钙滤渣,硅取除率60%。 一级结合 :加Na₂CO₃将pH上升至9,逐渐一个脚印石雕文化沉淀多余硅,并接用镁剂除砷。 反渗透装置设计 :0.02μm瓷砖膜滤过奈米级硅小粒,通量稳定的在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :浓缩提炼高盐污废水 ,成果出Na₂SO₄副產品,水使用率超90%。 既定使用效果 总硅从1500mg/L高于5mg/L下 砷水分含量从0.8mg/L降为0.01mg/L 软件系统无积灰行驶可超过2年 一年回收公司盐酸钠晶状体约800吨

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